Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Безменов, Ф. В.
Ростовое оборудование, используемое в полупроводниковой отрасли промышленности России, для получения монокристаллов кремния / Электротермическое оборудование / Ф. В. Безменов, Г. А. Горюшин, В. И. Добровольская // Электрометаллургия . – Ежемес. науч.-техн.ж-л. Издается с мая 1998 г . – 2003 . – N 3 . – с. 2-5 .