Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Алалыкин, А. С.
Влияние обработки ионами Ar низких энергий на характеристики рабочей и тыльной сторон подложки монокристаллического GaAs / Полупроводниковые структуры, границы раздела и поверхность / А. С. Алалыкин, П. Н. Крылов, И. В. Федотова, А. Б. Федотов // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2003 . – Т. 37, N 4 . – с. 465-468 .