Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Романюк, Б. Н.
Механизмы геттерирования кислорода в пластинах кремния с неоднородным распределением механических напряжений / Б. Н. Романюк, В. Г. Попов, В. Г. Литовченко, А. Мисиук, А. А. Евтух, Н. И. Клюй, В. П. Мельник // Физика и техника полупроводников . – 1995 . – Т. 29, N 1 . – с. 166-174 .