Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Бумай, Ю. А.
Влияние двойной имплантации атомов кремния и фтора на электрофизические параметры полуизолирующего арсенида галлия / Ю. А. Бумай, В. Э. Малаховская, А. Г. Ульяшин, Н. В. Шлопак, Т. Т. Самойлюк, Т. Д. Никитина, К. С. Горупа, Е. В. Автюшков // Физика и техника полупроводников . – 1992 . – Т. 26, N 7 . – 1306-1312 .