Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Гусаков, Г. А. - О температурной зависимости кристической дозы аморфизации кремния при ионной имплантации
Гусаков, Г. А. - О температурной зависимости кристической дозы аморфизации кремния при ионной имплантации
Статья
Автор: Гусаков, Г. А.
Физика и техника полупроводников: О температурной зависимости кристической дозы аморфизации кремния при ионной имплантации
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Гусаков, Г. А.
Физика и техника полупроводников: О температурной зависимости кристической дозы аморфизации кремния при ионной имплантации
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Гусаков, Г. А.
О температурной зависимости кристической дозы аморфизации кремния при ионной имплантации / Г. А. Гусаков, А. П. Новиков, В. М. Анищик // Физика и техника полупроводников . – 1994 . – Т. 28, N 9 . – 1672-1678 .
Гусаков, Г. А.
О температурной зависимости кристической дозы аморфизации кремния при ионной имплантации / Г. А. Гусаков, А. П. Новиков, В. М. Анищик // Физика и техника полупроводников . – 1994 . – Т. 28, N 9 . – 1672-1678 .