Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

1. Материаловедение, физико-химические основы технологий и методы управления процессами получения нелегированных и легированных монокристаллов кремния // Российская конференция по материаловедению и физико- химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе ('Кремний-2003').(26-30 мая 2003 г.) : Тезисы докладов . – М. : Изд-во МИСиС, 2003 . – с.21-172 .