Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

3. Материаловедение и физико-химические основы технологий получения гомо- и гетероэпитаксиальных слоев, в том числе монокристаллического кремния // Российская конференция по материаловедению и физико- химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе ('Кремний-2003').(26-30 мая 2003 г.) : Тезисы докладов . – М. : Изд-во МИСиС, 2003 . – с.198-278 .