Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Андреев, А. Н.
Влияние состава паровой фазы в ростовой ячейке на уровень легирования эпитаксиальных слоев карбида кремния, выращиваемых методом вакуумной сублимации / А. Н. Андреев, Н. Ю. Смирнова, М. П. Щеглов, М. Г. Растегаева, В. П. Растегаев, В. Е. Челноков // Физика и техника полупроводников . – 1996 . – Т. 30, N 11 . – с. 2060-2067 .