Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Бондаренко, Г. Г.
Расчет осаждения распыленного вещества на подложку при напылении тонких пленок в асимметричном тлеющем разряде переменного тока / Плазмохимические способы получения и обработки материалов / Г. Г. Бондаренко, О. Г. Бонк, В. И. Кристя // Физика и химия обработки материалов . – Журнал основа в январе 1967 года . – 2003 . – N 5 . – с. 32-34 .