Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Вспомогательные технологические газы и оборудование
Вспомогательные технологические газы и оборудование
Книга (аналит. описание)
Автор:
Технология полупроводникового кремния: Вспомогательные технологические газы и оборудование
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Технология полупроводникового кремния: Вспомогательные технологические газы и оборудование
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Вспомогательные технологические газы и оборудование // Технология полупроводникового кремния / Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный, др. ; ред. Э. С. Фалькевич . – М. : Металлургия, 1992 . – с. 337-388.
Вспомогательные технологические газы и оборудование // Технология полупроводникового кремния / Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный, др. ; ред. Э. С. Фалькевич . – М. : Металлургия, 1992 . – с. 337-388.