Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Беспалов, А. В. - Природа анизотропного окисления пленок силицида тантала, полученных магнетронным распылением /Мно...
Беспалов, А. В. - Природа анизотропного окисления пленок силицида тантала, полученных магнетронным распылением /Мно...
Статья
Автор: Беспалов, А. В.
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники: Природа анизотропного окисления пленок силицида тантала, полученных магнетронным распылением /Мно...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Беспалов, А. В.
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники: Природа анизотропного окисления пленок силицида тантала, полученных магнетронным распылением /Мно...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Беспалов, А. В.
Природа анизотропного окисления пленок силицида тантала, полученных магнетронным распылением /Многослойные композиции. Структура и свойства поверхностей раздела / А. В. Беспалов, А. А. Галаев // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники . – 1998 . – N 2 . – 28-29 .
Беспалов, А. В.
Природа анизотропного окисления пленок силицида тантала, полученных магнетронным распылением /Многослойные композиции. Структура и свойства поверхностей раздела / А. В. Беспалов, А. А. Галаев // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники . – 1998 . – N 2 . – 28-29 .