Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Данько, В. А.
Кинетика фазово-структурных преобразований в тонких пленках SiOx в процессе быстрого термического отжига / Аморфные, стеклообразные и пористые полупроводники / В. А. Данько, И. З. Индутный, В. С. Лысенко, И. Ю. Майданчук, В. И. Минько, А. Н. Назаров, А. С. Ткаченко, П. Е. Шепелявый // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2005 . – Т. 39, N 10 . – с. 1239-1245 .