Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Анищенко, Е. В. - Удаление фторполимерных загрязнений с поверхности кремниевых структур при обработке в потоке атом...
Анищенко, Е. В. - Удаление фторполимерных загрязнений с поверхности кремниевых структур при обработке в потоке атом...
Статья
Автор: Анищенко, Е. В.
Физика и техника полупроводников: Удаление фторполимерных загрязнений с поверхности кремниевых структур при обработке в потоке атом...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Анищенко, Е. В.
Физика и техника полупроводников: Удаление фторполимерных загрязнений с поверхности кремниевых структур при обработке в потоке атом...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Анищенко, Е. В.
Удаление фторполимерных загрязнений с поверхности кремниевых структур при обработке в потоке атомарного водорода / Физика полупроводниковых приборов / Е. В. Анищенко, В. А. Кагадей, Е. В. Нефедцев, Д. И. Проскуровский, С. В. Романенко // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2005 . – Т. 39, N 11 . – стр. 1389-1392 .
Анищенко, Е. В.
Удаление фторполимерных загрязнений с поверхности кремниевых структур при обработке в потоке атомарного водорода / Физика полупроводниковых приборов / Е. В. Анищенко, В. А. Кагадей, Е. В. Нефедцев, Д. И. Проскуровский, С. В. Романенко // Физика и техника полупроводников . – Издается с января 1967 года . – 2005 . – Т. 39, N 11 . – стр. 1389-1392 .
Привязано к:
Доступно
1 из 1
Выпуск
Физика и техника полупроводников Т. 39, N 11
Наука, 2005 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Физика и техника полупроводников Т. 39, N 11
Наука, 2005 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный