Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Петухов, В. В. - Влияние режимов ВЧ-магнетронного распыления и геометрии распылительной системы на толщину и соста...
Петухов, В. В. - Влияние режимов ВЧ-магнетронного распыления и геометрии распылительной системы на толщину и соста...
Книга (аналит. описание)
Автор: Петухов, В. В.
Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Т. 3: Влияние режимов ВЧ-магнетронного распыления и геометрии распылительной системы на толщину и соста...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Петухов, В. В.
Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Т. 3: Влияние режимов ВЧ-магнетронного распыления и геометрии распылительной системы на толщину и соста...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Петухов, В. В.
Влияние режимов ВЧ-магнетронного распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок в системе Ta-B / В. В. Петухов // Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Т. 3 : сб. докл. 7-й Междунар. конф. (24-28 апр., 2006. Харьков) / И. М. Неклюдов, В. М. Шулаев . – Харьков : Нац. науч. центр 'Харьков. физико-техн. ин-т', 2006 .
Петухов, В. В.
Влияние режимов ВЧ-магнетронного распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок в системе Ta-B / В. В. Петухов // Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Т. 3 : сб. докл. 7-й Междунар. конф. (24-28 апр., 2006. Харьков) / И. М. Неклюдов, В. М. Шулаев . – Харьков : Нац. науч. центр 'Харьков. физико-техн. ин-т', 2006 .