Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

6. Диагностика кремния, методы и аппаратура для исследования физических свойств и структуры монокристаллов и пленок кремния // Российская конференция с международным участием по физике, материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе (Кремний 2007). (4; 3-6 июля 2007 г.; Москва) : тезисы докладов . – М. : Изд-во МИСиС, 2007 . – С. 272-311 .