Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Панфилов, Ю. В.
Новое поколение вакуумного технологического оборудования для нанесения тонких пленок и формирования наноструктур / Ю. В. Панфилов, В. В. Одиноков // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2007, 6-8 сент.). Тонкие пленки в электротехнике: материалы XX Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана 2007, 6-8 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2007 . – С. 387-392 .