Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Пащенко, П. В.
Конструктивные элементы установок магнетронного распыления / П. В. Пащенко, Л. В. Павлушкин // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2007, 6-8 сент.). Тонкие пленки в электротехнике: материалы XX Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана 2007, 6-8 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2007 . – С. 393-421 .