Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Усанов, Д. А.
Системы для диагностики нановибраций и наноперемещений элементов микросистемной техники и биообъектов / Д. А. Усанов, А. В. Скрипаль // Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- и наноэлектроники. Т. 1 : материалы V Российско-Японского семинара (18-19 июня 2007 г.) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Изд-во МИСиС, 2007 . – С. 328-338 .