Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Симакин, С. Б.
Устройство для повышения точности регистрации момента окончания процесса ионного травления тонкопленочных гетерокомпозиций / С. Б. Симакин, Г. Д. Кузнецов, Е. А. Митрофанов // Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- и наноэлектроники. Т. 2 : материалы V Российско-японского семинара (18-19 июня 2007 г.) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Изд-во МИСиС, 2007 . – С. 770-778 .