Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Биленко, Д. И.
Определение глубины щелей и оптических свойств локальных образований в периодических наноструктурах / Д. И. Биленко, А. А. Сагайдачный, А. И. Смирнов, Т. Е. Мельникова, В. П. Полянская // Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- и наноэлектроники. Т. 1 : материалы V Российско-Японского семинара (18-19 июня 2007 г.) / ред. Л. В. Кожитов . – М. : Изд-во МИСиС, 2007 . – С. 452-456 .