Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Кузнецов, В. П. - О способах испарения Si и легирующих примесей в методах вакуумной эпитаксии
Кузнецов, В. П. - О способах испарения Si и легирующих примесей в методах вакуумной эпитаксии
Статья
Автор: Кузнецов, В. П.
Физика и техника полупроводников: О способах испарения Si и легирующих примесей в методах вакуумной эпитаксии
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Кузнецов, В. П.
Физика и техника полупроводников: О способах испарения Si и легирующих примесей в методах вакуумной эпитаксии
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Кузнецов, В. П.
О способах испарения Si и легирующих примесей в методах вакуумной эпитаксии / В. П. Кузнецов, Н. А. Алябина, В. А. Боженкин, О. В. Белова, М. В. Кузнецов // Физика и техника полупроводников . – 2008 . – Т. 42, N 3 . – с. 257-261 .
Кузнецов, В. П.
О способах испарения Si и легирующих примесей в методах вакуумной эпитаксии / В. П. Кузнецов, Н. А. Алябина, В. А. Боженкин, О. В. Белова, М. В. Кузнецов // Физика и техника полупроводников . – 2008 . – Т. 42, N 3 . – с. 257-261 .