Электронный каталог -Карпов, А. Н. - Формирование SiO(x)-слоев при плазменном распылении Si- и SiO2-мишеней- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Карпов, А. Н. - Формирование SiO(x)-слоев при плазменном распылении Si- и SiO2-мишеней

Карпов, А. Н. - Формирование SiO(x)-слоев при плазменном распылении Si- и SiO2-мишеней

Статья
Автор: Карпов, А. Н.
Физика и техника полупроводников: Формирование SiO(x)-слоев при плазменном распылении Si- и SiO2-мишеней
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Карпов, А. Н.
Формирование SiO(x)-слоев при плазменном распылении Si- и SiO2-мишеней / А. Н. Карпов, Д. В. Марин, В. А. Володин, J. Jedrzejewski, Г. А. Качурин, E. Savir, Н. Л. Шварц, З. Ш. Яновицкая, Y. Goldstein, I. Balberg // Физика и техника полупроводников . – 2008 . – T. 42, N 6 . – с. 747-752 .