Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Одиноков, В. В.
Специализированное вакуумное оборудование для новых технологий / В. В. Одиноков, Г. Я. Павлов // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 294-296 .