Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Митин, В. С.
Универсальная вакуумная установка ВУ-ВСМ 600/4 (МЭШ-60) для нанесения покрытий из многокомпонентных материалов, в том числе в наноструктурном состоянии, и получения нанопорошков / В. С. Митин, В. К. Орлов, В. М. Сергеев, Н. Н. Краснобаев, А. В. Митин, Д. Д. Спиваков, В. Д. Воронов, С. В. Емельянов, А. С. Шестеркин // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 297-307 .