Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Бритвин, А. А.
Применимость математической модели съема материала с поверхности пластины на примере ХМП процесса GAAs (111)B и Al2O3 различных ориентаций / А. А. Бритвин, Ю. М. Литвинов, А. А. Раскин // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 328-330 .