Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Белянин, А. Ф.
Особенности формирования наноструктурированных пленок иридия / А. Ф. Белянин, М. И. Самойлович, П. В. Пащенко, М. А. Тимофеев // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 366-376 .