Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Выровец, И. И.
Влияние состава газовой фазы на морфологию алмазных пленок, получаемых при возбуждении плазмы в скрещенных Е/Н полях / И. И. Выровец, В. И. Грицына, С. Ф. Дудник, О. А. Опалев, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 377-382 .