Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Наумов, В. В.
Увеличение адгезии металлических пленок к кремнию с помощью ионной бомбардировки в процессе их роста / В. В. Наумов, В. Ф. Бочкарев, Э. Ю. Бучин // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 425-429 .