Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Силаев, И. В. - Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского
Силаев, И. В. - Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Силаев, И. В.
Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
2008 г.
ISBN отсутствует
Автор: Силаев, И. В.
Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
2008 г.
ISBN отсутствует
Автореферат
С-36а
Силаев, И. В.
Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / И. В. Силаев ; науч. рук. А. П. Блиев ; науч. конс. Т. Т. Кондратенко . – М., 2008 . – 22с. : ил. + Библиогр.: с. 22 . – URL: http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=475199 .
621.315.592:548.5(043.3)
328061 19:Фонд дис.МИСиС
С-36а
Силаев, И. В.
Разработка способа выращивания профильных монокристаллов кремния из расплава методом Чохральского : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / И. В. Силаев ; науч. рук. А. П. Блиев ; науч. конс. Т. Т. Кондратенко . – М., 2008 . – 22с. : ил. + Библиогр.: с. 22 . – URL: http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=475199 .
621.315.592:548.5(043.3)
328061 19:Фонд дис.МИСиС