Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Симакин, С. Б. - Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...
Симакин, С. Б. - Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ...
Доступно
1 из 1
1 из 1
Автореферат
Автор: Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ... : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2009 г.
ISBN отсутствует
Автор: Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных ... : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2009 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Автореферат
С-37а
Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / С. Б. Симакин ; науч. конс. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2009 . – 48с. : ил. + Библиогр.: с. 44-48.
621.315.5/.6:539.216.2:537.534(043.3)
368523 19:Фонд дис.МИСиС
С-37а
Симакин, С. Б.
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники : автореф. дис... д.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / С. Б. Симакин ; науч. конс. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2009 . – 48с. : ил. + Библиогр.: с. 44-48.
621.315.5/.6:539.216.2:537.534(043.3)
368523 19:Фонд дис.МИСиС