Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Сенников, П. Г. - Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафто...
Сенников, П. Г. - Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафто...
Статья
Автор: Сенников, П. Г.
Физика и техника полупроводников: Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафто...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Сенников, П. Г.
Физика и техника полупроводников: Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафто...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Сенников, П. Г.
Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафторида кремния / П. Г. Сенников, С. В. Голубев, В. И. Шашкин, Д. А. Пряхин, М. Н. Дроздов, Б. А. Андреев, Ю. Н. Дроздов, А. С. Кузнецов, Х.-Й. Поль // Физика и техника полупроводников . – 2009 . – Т. 43, N 7 . – С. 1002-1006 .
Сенников, П. Г.
Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафторида кремния / П. Г. Сенников, С. В. Голубев, В. И. Шашкин, Д. А. Пряхин, М. Н. Дроздов, Б. А. Андреев, Ю. Н. Дроздов, А. С. Кузнецов, Х.-Й. Поль // Физика и техника полупроводников . – 2009 . – Т. 43, N 7 . – С. 1002-1006 .