Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Афанасьев, А. В. - Исследование влияния соединений хлора на процесс осаждения эпитаксиального слоя кремния на сапфире
Афанасьев, А. В. - Исследование влияния соединений хлора на процесс осаждения эпитаксиального слоя кремния на сапфире
Книга (аналит. описание)
Автор: Афанасьев, А. В.
Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, ...: Исследование влияния соединений хлора на процесс осаждения эпитаксиального слоя кремния на сапфире
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Афанасьев, А. В.
Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, ...: Исследование влияния соединений хлора на процесс осаждения эпитаксиального слоя кремния на сапфире
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Афанасьев, А. В.
Исследование влияния соединений хлора на процесс осаждения эпитаксиального слоя кремния на сапфире / А. В. Афанасьев, А. А. Раскин // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXII Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2009 . – С. 430-432 .
Афанасьев, А. В.
Исследование влияния соединений хлора на процесс осаждения эпитаксиального слоя кремния на сапфире / А. В. Афанасьев, А. А. Раскин // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXII Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2009 . – С. 430-432 .