Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Морозов, О. В.
Технология изготовления микроэлектромеханических устройств на основе изолированных областей в пластине кремния / О. В. Морозов, А. В. Постников, И. И. Амиров, В. А. Кальнов // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVI Междунар. научно-техн. конф. (Москва, 'ЦНИТИ 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIII Междунар. симп. (Москва, 'ЦНИТИ' 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2010 . – С. 205-210 .