Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Булыгина, Е. В.
Исследование топологии поверхности тонкопленочных структур, предназначенных для изготовления газовых сенсоров / Е. В. Булыгина, А. С. Власова // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVI Междунар. научно-техн. конф. (Москва, 'ЦНИТИ 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIII Междунар. симп. (Москва, 'ЦНИТИ' 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2010 . – С. 377-379 .