Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Каменева, А. Л.
Влияние концентрации азота в газовой смеси на структурные и фазовые изменения в пленках нитрида титана в процессе электродугового испарения / А. Л. Каменева, Т. О. Сошина // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVI Междунар. научно-техн. конф. (Москва, 'ЦНИТИ 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIII Междунар. симп. (Москва, 'ЦНИТИ' 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2010 . – С. 392-401 .