Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Быков, В. А.
Технологическое оборудование для создания микро- и наносистемной техники: преимущества объединения групповых и нанолокальных методов обработки в единую высоковакуумную конвейерную систему / В. А. Быков, О. А. Агеев, А. В. Быков, Р. В. Харламов, А. А. Федотов // Приборное и научно-методическое обеспечение исследований и разработок в области технологий создания биосовместимых материалов : сб. науч. тр. Всерос. науч. школы для молодежи (4-9 окт. 2010 г.) / М. В. Астахов, Е. В. Юртов, Н. А. Коротченко, И. В. Корочанцева . – М. : Изд-во МИСиС, 2010 . – С. 61-64 .