Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Антонов, В. А. - Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний-на-изоляторе
Антонов, В. А. - Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний-на-изоляторе
Статья
Автор: Антонов, В. А.
Физика и техника полупроводников: Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний-на-изоляторе
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Антонов, В. А.
Физика и техника полупроводников: Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний-на-изоляторе
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Антонов, В. А.
Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний-на-изоляторе / В. А. Антонов, Е. В. Спесивцев, И. Е. Тысченко // Физика и техника полупроводников . – 2011 . – Т. 45, N 8 . – С. 1121-1125 .
Антонов, В. А.
Анодное окисление нанометровых слоев Si в структурах кремний-на-изоляторе / В. А. Антонов, Е. В. Спесивцев, И. Е. Тысченко // Физика и техника полупроводников . – 2011 . – Т. 45, N 8 . – С. 1121-1125 .