Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 9. Ионная имплантация
9. Ионная имплантация
Книга (аналит. описание)
Автор:
Физико-химические основы микро- и наноэлектроники: 9. Ионная имплантация
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Физико-химические основы микро- и наноэлектроники: 9. Ионная имплантация
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
9. Ионная имплантация // Физико-химические основы микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / А. П. Алехин ; Моск. физико-техн. ин-т . – М. : Изд-во МФТИ, 2011 . – С. 111-120 .
9. Ионная имплантация // Физико-химические основы микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / А. П. Алехин ; Моск. физико-техн. ин-т . – М. : Изд-во МФТИ, 2011 . – С. 111-120 .