Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 10. Физико-химические основы литографии
10. Физико-химические основы литографии
Книга (аналит. описание)
Автор:
Физико-химические основы микро- и наноэлектроники: 10. Физико-химические основы литографии
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Физико-химические основы микро- и наноэлектроники: 10. Физико-химические основы литографии
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
10. Физико-химические основы литографии // Физико-химические основы микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / А. П. Алехин ; Моск. физико-техн. ин-т . – М. : Изд-во МФТИ, 2011 . – С. 121-147 .
10. Физико-химические основы литографии // Физико-химические основы микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / А. П. Алехин ; Моск. физико-техн. ин-т . – М. : Изд-во МФТИ, 2011 . – С. 121-147 .