Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Цветков, Ю. Б.
Исследование процесса микрообработки монокристаллического кремния с электрохимической остановкой анизотропного травления / Ю. Б. Цветков, В. Т. Рябов, В. Ю. Цветков // Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIV Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Наноинженерия: материалы IV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др.; МГТУ им. Н. Э. Баумана . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2011 . – С. 114-118 .