Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Жохов, А. А.
Выращивание объемных монокристаллов карбида кремния с использованием автоматизированной промышленной установки SiC-1 (ЭЗАН) / А. А. Жохов, Г. А. Емельченко, В. В. Кведер, А. В. Бородин, В. А. Бородин // Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIV Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Наноинженерия: материалы IV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др.; МГТУ им. Н. Э. Баумана . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2011 . – С. 125-130 .