Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Белянин, А. Ф.
Установка магнетронного распыления для формирования упорядоченных пленок / А. Ф. Белянин, П. В. Пащенко, С. А. Евлашин, А. Н. Ламский, В. С. Митин, Н. В. Суетин, В. Н. Удалов // Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIV Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Наноинженерия: материалы IV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др.; МГТУ им. Н. Э. Баумана . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2011 . – С. 168-173 .