Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Комлев, А. Е.
Влияние расхода кислорода при реактивном магнетронном распылении на свойства пленок оксида тантала / А. Е. Комлев, В. В. Плотников, В. И. Шаповалов, Н. С. Шутова // Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIV Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.). Наноинженерия: материалы IV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011, 8-10 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др.; МГТУ им. Н. Э. Баумана . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2011 . – С. 211-215 .