Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Савельев, Б. Н. - Исследование поведения фосфора в процессе легирования кремния из газовой фазы треххлористого фосф...
Савельев, Б. Н. - Исследование поведения фосфора в процессе легирования кремния из газовой фазы треххлористого фосф...
Книга (аналит. описание)
Автор: Савельев, Б. Н.
Физико-химические методы исследования полупроводниковых материалов: Исследование поведения фосфора в процессе легирования кремния из газовой фазы треххлористого фосф...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Савельев, Б. Н.
Физико-химические методы исследования полупроводниковых материалов: Исследование поведения фосфора в процессе легирования кремния из газовой фазы треххлористого фосф...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Савельев, Б. Н.
Исследование поведения фосфора в процессе легирования кремния из газовой фазы треххлористого фосфора в условиях бестигельной зонной плавки / Б. Н. Савельев, С. Т. Белов, В. В. Добровенский // Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности ГИРЕДМЕТ. Научные труды . – М. : Металлургиздат, 1959. - 25/200 : Физико-химические методы исследования полупроводниковых материалов / Гиредмет . – М. : Металлургия, 1969 . – С. 107-112 .
Савельев, Б. Н.
Исследование поведения фосфора в процессе легирования кремния из газовой фазы треххлористого фосфора в условиях бестигельной зонной плавки / Б. Н. Савельев, С. Т. Белов, В. В. Добровенский // Научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности ГИРЕДМЕТ. Научные труды . – М. : Металлургиздат, 1959. - 25/200 : Физико-химические методы исследования полупроводниковых материалов / Гиредмет . – М. : Металлургия, 1969 . – С. 107-112 .