Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ануров, А. Е. - Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в...
Ануров, А. Е. - Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в...

Статья
Автор: Ануров, А. Е.
Наноматериалы и наноструктуры: Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Ануров, А. Е.
Наноматериалы и наноструктуры: Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Ануров, А. Е.
Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме / А. Е. Ануров, А. А. Данилов, А. А. Жуков // Наноматериалы и наноструктуры . – 2011 . – Т. 2, N 4 . – С. 43-47 .
Ануров, А. Е.
Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме / А. Е. Ануров, А. А. Данилов, А. А. Жуков // Наноматериалы и наноструктуры . – 2011 . – Т. 2, N 4 . – С. 43-47 .