Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Семенова, О. И. - Осаждение пленок SiNx:H в плазме ВЧ-разряда
Семенова, О. И. - Осаждение пленок SiNx:H в плазме ВЧ-разряда
Статья
Автор: Семенова, О. И.
Неорганические материалы: Осаждение пленок SiNx:H в плазме ВЧ-разряда
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Семенова, О. И.
Неорганические материалы: Осаждение пленок SiNx:H в плазме ВЧ-разряда
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Семенова, О. И.
Осаждение пленок SiNx:H в плазме ВЧ-разряда / О. И. Семенова, С. Ф. Девятова // Неорганические материалы . – 2012 . – Т. 48, N 8 . – С. 921-926 .
Семенова, О. И.
Осаждение пленок SiNx:H в плазме ВЧ-разряда / О. И. Семенова, С. Ф. Девятова // Неорганические материалы . – 2012 . – Т. 48, N 8 . – С. 921-926 .