Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шенгуров, Д. В. - Низкотемпературное выращивание эпитаксиальных слоев кремния, солегированных атомами эрбия и кисло...
Шенгуров, Д. В. - Низкотемпературное выращивание эпитаксиальных слоев кремния, солегированных атомами эрбия и кисло...
Статья
Автор: Шенгуров, Д. В.
Физика и техника полупроводников: Низкотемпературное выращивание эпитаксиальных слоев кремния, солегированных атомами эрбия и кисло...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шенгуров, Д. В.
Физика и техника полупроводников: Низкотемпературное выращивание эпитаксиальных слоев кремния, солегированных атомами эрбия и кисло...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Шенгуров, Д. В.
Низкотемпературное выращивание эпитаксиальных слоев кремния, солегированных атомами эрбия и кислорода / Д. В. Шенгуров, В. Ю. Чалков, С. А. Денисов // Физика и техника полупроводников . – 2013 . – Т. 47, N 3 . – С. 410-413 .
Шенгуров, Д. В.
Низкотемпературное выращивание эпитаксиальных слоев кремния, солегированных атомами эрбия и кислорода / Д. В. Шенгуров, В. Ю. Чалков, С. А. Денисов // Физика и техника полупроводников . – 2013 . – Т. 47, N 3 . – С. 410-413 .