Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Шаныгин, В. Я. - Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной мик...
Шаныгин, В. Я. - Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной мик...
Статья
Автор: Шаныгин, В. Я.
Физика и техника полупроводников: Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной мик...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Шаныгин, В. Я.
Физика и техника полупроводников: Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной мик...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Шаныгин, В. Я.
Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной микрообработки / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Физика и техника полупроводников . – 2013 . – Т. 47, N 4 . – С. 447-459 .
Шаныгин, В. Я.
Релаксационная самоорганизация поверхности кристаллов кремния под воздействием СВЧ плазменной микрообработки / В. Я. Шаныгин, Р. К. Яфаров // Физика и техника полупроводников . – 2013 . – Т. 47, N 4 . – С. 447-459 .
Привязано к:
Доступно
1 из 1
Выпуск
Физика и техника полупроводников Т. 47, N 4
2013 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
Физика и техника полупроводников Т. 47, N 4
2013 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный