Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Тысченко, И. Е.
Кристаллизация пленок кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода, под действием термических миллисекундных импульсов / И. Е. Тысченко, В. А. Володин, М. Фельсков, А. Г. Черков, В. П. Попов // Физика и техника полупроводников . – 2013 . – Т. 47, N 5 . – С. 591-597 .