Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Малинин, А. А. - Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси
Малинин, А. А. - Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси
Доступно
1 из 1
1 из 1
Диссертация
Автор: Малинин, А. А.
Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси : дис... к.физ.-мат.н.
1989 г.
ISBN отсутствует
Автор: Малинин, А. А.
Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси : дис... к.физ.-мат.н.
1989 г.
ISBN отсутствует
Заказать 
На полку
Диссертация
M-19д
Малинин, А. А.
Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси : дис... к.физ.-мат.н. / А. А. Малинин ; науч. рук. В. Н. Мордкович . – 1989 . – 130 с. : ил. + Библиогр.: с.114-129. - (АН СССР, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов).
621.315.592.2:546.28
626578 20:Фонд дис.др.орг.
M-19д
Малинин, А. А.
Процесс образования новой фазы в кремнии, имплантированном ионами реактивной примеси : дис... к.физ.-мат.н. / А. А. Малинин ; науч. рук. В. Н. Мордкович . – 1989 . – 130 с. : ил. + Библиогр.: с.114-129. - (АН СССР, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов).
621.315.592.2:546.28
626578 20:Фонд дис.др.орг.